Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications
Hiroyuki Fujiwara
syys 2007 · John Wiley & Sons
5,0star
1 arvostelureport
E-kirja
392
sivuja
reportArvioita ja arvosteluja ei ole vahvistettu Lue lisää
Tietoa tästä e-kirjasta
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.
Arviot ja arvostelut
5,0
1 arvostelu
Tietoja kirjoittajasta
Dr Hiroyuki Fujiwara is based at the National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Ibaraki, Japan. He received his PhD at the Tokyo Institute of Technology in 1996 and carried out post-doctoral research with Professor R.W. Collins at Penn State University. From 1998 to present he has been working as a senior research scientist at the Research Center for Photovoltaics at NIAIST. He received the 'Most Promising Young Scientist Award' from the Japan Society of Applied Physics and the 'Young Researcher Award' at the World Conference on Photovoltaic Energy Conversion in 2003.
Arvioi tämä e-kirja
Kerro meille mielipiteesi.
Tietoa lukemisesta
Älypuhelimet ja tabletit
Asenna Google Play Kirjat ‑sovellus Androidille tai iPadille/iPhonelle. Se synkronoituu automaattisesti tilisi kanssa, jolloin voit lukea online- tai offline-tilassa missä tahansa oletkin.
Kannettavat ja pöytätietokoneet
Voit kuunnella Google Playsta ostettuja äänikirjoja tietokoneesi selaimella.
Lukulaitteet ja muut laitteet
Jos haluat lukea kirjoja sähköisellä lukulaitteella, esim. Kobo-lukulaitteella, sinun täytyy ladata tiedosto ja siirtää se laitteellesi. Siirrä tiedostoja tuettuihin lukulaitteisiin seuraamalla ohjekeskuksen ohjeita.
