Microelectronic Materials and Processes

· NATO Science Series E წიგნი 164 · Springer Science & Business Media
4,0
1 მიმოხილვა
ელწიგნი
1000
გვერდი
რეიტინგები და მიმოხილვები დაუდასტურებელია  შეიტყვეთ მეტი

ამ ელწიგნის შესახებ

The primary thrust of very large scale integration (VLS!) is the miniaturization of devices to increase packing density, achieve higher speed, and consume lower power. The fabrication of integrated circuits containing in excess of four million components per chip with design rules in the submicron range has now been made possible by the introduction of innovative circuit designs and the development of new microelectronic materials and processes. This book addresses the latter challenge by assessing the current status of the science and technology associated with the production of VLSI silicon circuits. It represents the cumulative effort of experts from academia and industry who have come together to blend their expertise into a tutorial overview and cohesive update of this rapidly expanding field. A balance of fundamental and applied contributions cover the basics of microelectronics materials and process engineering. Subjects in materials science include silicon, silicides, resists, dielectrics, and interconnect metallization. Subjects in process engineering include crystal growth, epitaxy, oxidation, thin film deposition, fine-line lithography, dry etching, ion implantation, and diffusion. Other related topics such as process simulation, defects phenomena, and diagnostic techniques are also included. This book is the result of a NATO-sponsored Advanced Study Institute (AS!) held in Castelvecchio Pascoli, Italy. Invited speakers at this institute provided manuscripts which were edited, updated, and integrated with other contributions solicited from non-participants to this AS!.

შეფასებები და მიმოხილვები

4,0
1 მიმოხილვა

შეაფასეთ ეს ელწიგნი

გვითხარით თქვენი აზრი.

ინფორმაცია წაკითხვასთან დაკავშირებით

სმარტფონები და ტაბლეტები
დააინსტალირეთ Google Play Books აპი Android და iPad/iPhone მოწყობილობებისთვის. ის ავტომატურად განახორციელებს სინქრონიზაციას თქვენს ანგარიშთან და საშუალებას მოგცემთ, წაიკითხოთ სასურველი კონტენტი ნებისმიერ ადგილას, როგორც ონლაინ, ისე ხაზგარეშე რეჟიმში.
ლეპტოპები და კომპიუტერები
Google Play-ში შეძენილი აუდიოწიგნების მოსმენა თქვენი კომპიუტერის ვებ-ბრაუზერის გამოყენებით შეგიძლიათ.
ელწამკითხველები და სხვა მოწყობილობები
ელექტრონული მელნის მოწყობილობებზე წასაკითხად, როგორიცაა Kobo eReaders, თქვენ უნდა ჩამოტვირთოთ ფაილი და გადაიტანოთ იგი თქვენს მოწყობილობაში. დახმარების ცენტრის დეტალური ინსტრუქციების მიხედვით გადაიტანეთ ფაილები მხარდაჭერილ ელწამკითხველებზე.