Microelectronic Materials and Processes
R.A. Levy
اسفند ۲۰۱۲ · NATO Science Series E کتاب 164 · Springer Science & Business Media
۴٫۰star
۱ مرورreport
ای-کتاب
1000
صفحه‌ها
reportرده‌بندی‌ها و مرورها به‌تأیید نمی‌رسند. بیشتر بدانید
درباره این ای-کتاب
The primary thrust of very large scale integration (VLS!) is the miniaturization of devices to increase packing density, achieve higher speed, and consume lower power. The fabrication of integrated circuits containing in excess of four million components per chip with design rules in the submicron range has now been made possible by the introduction of innovative circuit designs and the development of new microelectronic materials and processes. This book addresses the latter challenge by assessing the current status of the science and technology associated with the production of VLSI silicon circuits. It represents the cumulative effort of experts from academia and industry who have come together to blend their expertise into a tutorial overview and cohesive update of this rapidly expanding field. A balance of fundamental and applied contributions cover the basics of microelectronics materials and process engineering. Subjects in materials science include silicon, silicides, resists, dielectrics, and interconnect metallization. Subjects in process engineering include crystal growth, epitaxy, oxidation, thin film deposition, fine-line lithography, dry etching, ion implantation, and diffusion. Other related topics such as process simulation, defects phenomena, and diagnostic techniques are also included. This book is the result of a NATO-sponsored Advanced Study Institute (AS!) held in Castelvecchio Pascoli, Italy. Invited speakers at this institute provided manuscripts which were edited, updated, and integrated with other contributions solicited from non-participants to this AS!.
رتبه‌بندی‌ها و مرورها
۴٫۰
۱ مرور
رده‌بندی این کتاب الکترونیک
نظرات خود را به ما بگویید.
اطلاعات مطالعه
تلفن هوشمند و رایانه لوحی
برنامه «کتاب‌های Google Play» را برای Android و iPad/iPhone بارگیری کنید. به‌طور خودکار با حسابتان همگام‌سازی می‌شود و به شما امکان می‌دهد هر کجا که هستید به‌صورت آنلاین یا آفلاین بخوانید.
رایانه کیفی و رایانه
با استفاده از مرورگر وب رایانه‌تان می‌توانید به کتاب‌های صوتی خریداری‌شده در Google Play گوش دهید.
eReaderها و دستگاه‌های دیگر
برای خواندن در دستگاه‌های جوهر الکترونیکی مانند کتاب‌خوان‌های الکترونیکی Kobo، باید فایل مدنظرتان را بارگیری و به دستگاه منتقل کنید. برای انتقال فایل به کتاب‌خوان‌های الکترونیکی پشتیبانی‌شده، دستورالعمل‌های کامل مرکز راهنمایی را دنبال کنید.
