Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication
Klaus Graff
бер. 2013 р. · Springer Series in Materials Science Книга 24 · Springer Science & Business Media
Електронна книга
216
Сторінки
reportGoogle не перевіряє оцінки й відгуки. Докладніше.
Про цю електронну книгу
Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication treats the transition-metal impurities generated during silicon sample and device fabrication. The different mechanisms responsible for contamination are discussed, and a survey given of their impact on device performance. The specific properties of main and rare impurities in silicon are examined, as well as the detection methods and requirements in modern technology. Finally, impurity gettering is studied along with modern techniques to determine gettering efficiency. In all of these subjects, reliable and up-to-date data are presented. The monograph provides a thorough review of the results of recent scientific investigations, as well as of the relevant data and properties of the various metal impurities in silicon.
Оцініть цю електронну книгу
Повідомте нас про свої враження.
Як читати
Смартфони та планшети
Установіть додаток Google Play Книги для Android і iPad або iPhone. Він автоматично синхронізується з вашим обліковим записом і дає змогу читати книги в режимах онлайн і офлайн, де б ви не були.
Портативні та настільні комп’ютери
Ви можете слухати аудіокниги, куплені в Google Play, у веб-переглядачі на комп’ютері.
eReader та інші пристрої
Щоб користуватися пристроями для читання електронних книг із технологією E-ink, наприклад Kobo, вам знадобиться завантажити файл і перенести його на відповідний пристрій. Докладні вказівки з перенесення файлів на підтримувані пристрої можна знайти в Довідковому центрі.
