Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication
Klaus Graff
mars 2013 · Springer Series in Materials Science Bok 24 · Springer Science & Business Media
E-bok
216
Sidor
reportBetyg och recensioner verifieras inte Läs mer
Om den här e-boken
Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication treats the transition-metal impurities generated during silicon sample and device fabrication. The different mechanisms responsible for contamination are discussed, and a survey given of their impact on device performance. The specific properties of main and rare impurities in silicon are examined, as well as the detection methods and requirements in modern technology. Finally, impurity gettering is studied along with modern techniques to determine gettering efficiency. In all of these subjects, reliable and up-to-date data are presented. The monograph provides a thorough review of the results of recent scientific investigations, as well as of the relevant data and properties of the various metal impurities in silicon.
Betygsätt e-boken
Berätta vad du tycker.
Läsinformation
Smartphones och surfplattor
Installera appen Google Play Böcker för Android och iPad/iPhone. Appen synkroniseras automatiskt med ditt konto så att du kan läsa online eller offline var du än befinner dig.
Laptops och stationära datorer
Du kan lyssna på ljudböcker som du har köpt på Google Play via webbläsaren på datorn.
Läsplattor och andra enheter
Om du vill läsa boken på enheter med e-bläck, till exempel Kobo-läsplattor, måste du ladda ned en fil och överföra den till enheten. Följ anvisningarna i hjälpcentret om du vill överföra filerna till en kompatibel läsplatta.
