MEMS Materials and Processes Handbook
Reza Ghodssi ¡ Pinyen Lin
āĻŽāĻžā§°ā§āĻ ā§¨ā§Ļā§§ā§§ ¡ MEMS Reference Shelf āĻāĻŋāĻ¤āĻžāĻĒ 4 ¡ Springer Science & Business Media
ā§Ģ.ā§Ļstar
ā§§ āĻāĻž āĻĒā§°ā§āĻ¯āĻžāĻ˛ā§āĻāĻ¨āĻžreport
āĻāĻŦā§āĻ
1188
āĻĒā§āĻˇā§āĻ āĻž
reportāĻŽā§āĻ˛ā§āĻ¯āĻžāĻāĻāĻ¨ āĻā§°ā§ āĻĒā§°ā§āĻ¯āĻžāĻ˛ā§āĻāĻ¨āĻž āĻ¸āĻ¤ā§āĻ¯āĻžāĻĒāĻ¨ āĻā§°āĻž āĻšā§ā§ąāĻž āĻ¨āĻžāĻ  āĻ
āĻ§āĻŋāĻ āĻāĻžāĻ¨āĻ
āĻāĻ āĻāĻŦā§āĻāĻāĻ¨ā§° āĻŦāĻŋāĻˇā§ā§
MEMs Materials and Processes Handbook" is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on "Materials" and "Processes". The extensive Material Selection Guide" and a "Material Database" guides the reader through the selection of appropriate materials for the required task at hand. The "Processes" section of the book is organized as a catalog of various microfabrication processes, each with a brief introduction to the technology, as well as examples of common uses in MEMs.
āĻŽā§āĻ˛ā§āĻ¯āĻžāĻāĻāĻ¨ āĻā§°ā§ āĻĒā§°ā§āĻ¯āĻžāĻ˛ā§āĻāĻ¨āĻžāĻ¸āĻŽā§āĻš
ā§Ģ.ā§Ļ
ā§§ āĻāĻž āĻĒā§°ā§āĻ¯āĻžāĻ˛ā§āĻāĻ¨āĻž
āĻāĻ āĻāĻŦā§āĻāĻāĻ¨āĻ āĻŽā§āĻ˛ā§āĻ¯āĻžāĻāĻāĻ¨ āĻā§°āĻ
āĻāĻŽāĻžāĻ āĻāĻĒā§āĻ¨āĻžā§° āĻŽāĻ¤āĻžāĻŽāĻ¤ āĻāĻ¨āĻžāĻāĻāĨ¤
āĻĒāĻĸāĻŧāĻžā§° āĻ¨āĻŋāĻ°ā§āĻĻā§āĻļāĻžā§ąāĻ˛ā§
āĻ¸ā§āĻŽāĻžā§°ā§āĻāĻĢâāĻ¨ āĻā§°ā§ āĻā§āĻŦāĻ˛ā§āĻ
Android āĻā§°ā§ iPad/iPhoneā§° āĻŦāĻžāĻŦā§ Google Play Books āĻāĻĒāĻā§ āĻāĻ¨āĻˇā§āĻāĻ˛ āĻā§°āĻāĨ¤ āĻ āĻ¸ā§āĻŦāĻ¯āĻŧāĻāĻā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻāĻžā§ąā§ āĻāĻĒā§āĻ¨āĻžā§° āĻāĻāĻžāĻāĻŖā§āĻā§° āĻ¸ā§āĻ¤ā§ āĻāĻŋāĻāĻ āĻšāĻ¯āĻŧ āĻā§°ā§ āĻāĻĒā§āĻ¨āĻŋ āĻ¯'āĻ¤ā§ āĻ¨āĻžāĻĨāĻžāĻāĻ āĻ¤'āĻ¤ā§āĻ āĻā§āĻ¨ā§ āĻ
āĻĄāĻŋāĻ
'āĻŦā§āĻ āĻ
āĻ¨āĻ˛āĻžāĻāĻ¨ āĻŦāĻž āĻ
āĻĢāĻ˛āĻžāĻāĻ¨āĻ¤ āĻļā§āĻ¨āĻŋāĻŦāĻ˛ā§ āĻ¸ā§āĻŦāĻŋāĻ§āĻž āĻĻāĻŋāĻ¯āĻŧā§āĨ¤
āĻ˛ā§āĻĒāĻāĻĒ āĻā§°ā§ āĻāĻŽā§āĻĒāĻŋāĻāĻāĻžā§°
āĻāĻĒā§āĻ¨āĻŋ āĻāĻŽā§āĻĒāĻŋāĻāĻāĻžā§°ā§° ā§ąā§āĻŦ āĻŦā§āĻ°āĻžāĻāĻāĻžā§° āĻŦā§āĻ¯ā§ąāĻšāĻžā§° āĻā§°āĻŋ Google PlayāĻ¤ āĻāĻŋāĻ¨āĻž āĻ
āĻĄāĻŋāĻ
'āĻŦā§āĻāĻ¸āĻŽā§āĻš āĻļā§āĻ¨āĻŋāĻŦ āĻĒāĻžā§°ā§āĨ¤
āĻ-ā§°ā§āĻĄāĻžā§° āĻā§°ā§ āĻ
āĻ¨ā§āĻ¯ āĻĄāĻŋāĻāĻžāĻāĻ
Kobo eReadersā§° āĻĻā§°ā§ āĻ-āĻāĻŋā§āĻžāĻāĻšā§ā§° āĻĄāĻŋāĻāĻžāĻāĻāĻ¸āĻŽā§āĻšāĻ¤ āĻĒā§āĻŋāĻŦāĻ˛ā§, āĻāĻĒā§āĻ¨āĻŋ āĻāĻāĻž āĻĢāĻžāĻāĻ˛ āĻĄāĻžāĻāĻ¨āĻ˛âāĻĄ āĻā§°āĻŋ āĻ¸ā§āĻāĻā§ āĻāĻĒā§āĻ¨āĻžā§° āĻĄāĻŋāĻāĻžāĻāĻāĻ˛ā§ āĻ¸ā§āĻĨāĻžāĻ¨āĻžāĻ¨ā§āĻ¤ā§°āĻŖ āĻā§°āĻŋāĻŦ āĻ˛āĻžāĻāĻŋāĻŦāĨ¤ āĻ¸āĻŽā§°ā§āĻĨāĻŋāĻ¤ āĻ-ā§°āĻŋāĻĄāĻžā§°āĻ˛ā§ āĻĢāĻžāĻāĻ˛āĻā§ āĻā§āĻ¨ā§āĻā§ āĻ¸ā§āĻĨāĻžāĻ¨āĻžāĻ¨ā§āĻ¤ā§° āĻā§°āĻŋāĻŦ āĻāĻžāĻ¨āĻŋāĻŦāĻ˛ā§ āĻ¸āĻšāĻžāĻ¯āĻŧ āĻā§āĻ¨ā§āĻĻā§ā§°āĻ¤ āĻĨāĻāĻž āĻ¸āĻŦāĻŋāĻļā§āĻˇ āĻ¨āĻŋā§°ā§āĻĻā§āĻļāĻžā§ąāĻ˛ā§ āĻāĻžāĻāĻāĨ¤
