Applying these methods in laboratory conditions, sensors with a quantitative readout of single ppb benzene and formaldehyde were developed. These results show promise to fill the existing gap of low-cost but highly sensitive and fast gas sensors for air quality monitoring.
Der Fokus dieser Thesis liegt auf der Erforschung von epitaxialem Graphen auf SiC als Plattform fÞr LuftgÞtesensoren. Diverse AnsÃĪtze wurden untersucht, um die SensitivitÃĪt, SelektivitÃĪt, Reaktionsgeschwindigkeit und StabilitÃĪt der Sensoren zu verbessern. Die GraphenoberflÃĪche wurde unter anderem mit Metalloxid-Nanopartikeln oder nanometerdÞnnen Schichten funktionalisiert. Die funktionalisierten Sensorschichten wurden hinsichtlich ihrer OberflÃĪchenbeschaffenheit, Unversehrtheit und chemischen Zusammensetzung mittels Rasterkraftmikroskopie und Raman Spektroskopie untersucht. Die Reaktionsenergien zwischen verschiedenen Analyten und Nanopartikel-Graphen-Kombinationen wurden mit Dichtefunktionaltheorie berechnet, um das optimale Material fÞr spezifische Gase zu finden und um die Brauchbarkeit dieser Funktionalisierungsmethode zu verifizieren. Der Einfluss von ÃĪuÃeren Parametern wie Sensortemperatur, Luftfeuchte und UV-Einstrahlung auf die Sensoreigenschaften wurde ebenfalls untersucht. Um die Sensorleistung zu verbessern, wurde die erste zeitliche Ableitung des Sensorwiderstands als zusÃĪtzliches Signal eingefÞhrt und ein temperaturzyklischer Betriebsmodus hinsichtlich seiner Eignung erforscht.
Durch die Anwendung dieser Methoden ist es mÃķglich, einzelne ppbs Benzol und Formaldehyd unter Laborbedingungen zu detektieren. Diese Ergebnisse sind vielversprechend, um die bestehende LÞcke der gÞnstigen, aber sehr sensitiven Sensoren fÞr LuftqualitÃĪtsÞberwachung zu schlieÃen.
Arbetet som presenteras i denna avhandling fokuserar pÃĨ epitaxiell grafen pÃĨ SiC som en plattform fÃķr luftkvalitetssensorer. Flera tillvÃĪgagÃĨngssÃĪtt har testats och utvÃĪrderats fÃķr att Ãķka kÃĪnsligheten, selektiviteten, responstiden, och stabiliteten hos sensorerna. Grafenytorna har modifierats till exempel med olika metalloxid-nanopartiklar och nanolager med anvÃĪndning av hÃĨlkatodsputtring och PLD. De modifierade ytorna undersÃķktes mot topografi, strukturell integritet och kemisk sammansÃĪttning med karakteriseringsmetoder som atomkraftsmikroskopi och Ramanspektroskopi. Interaktionsenergier mellan flera analyter och nanopartiklar-grafen- materialkombinationer berÃĪknades med tÃĪthetsfunktionalteori fÃķr att hitta de optimala materialkombinationerna fÃķr specifika mÃĨlgaser och fÃķr att verifiera anvÃĪndbarheten av ytmodifieringarna. Effekten av externa faktorer som arbetstemperatur, relativ fuktighet och UV-bestrÃĨlning pÃĨ avkÃĪnningsegenskaper undersÃķktes ocksÃĨ. FÃķr att ytterligare fÃķrbÃĪttra sensorprestanda introducerades fÃķrsta ordningens tidsderivat av sensorns resistans fÃķr att snabbare utvÃĪrdera sensorns respons, och ett temperaturcyklat driftlÃĪge i kombination med multivariat dataanalys undersÃķktes mot selektivitet.
Genom att anvÃĪnda dessa metoder under laboratoriefÃķrhÃĨllanden utvecklades sensorer med en kvantitativ avlÃĪsning av enstaka ppb bensen och formaldehyd. Dessa resultat visar pÃĨ en mÃķjlig lÃķsning fÃķr att fylla det hÃĨlrum som finns i dagens sensorteknologier fÃķr luftkvalitetsÃķvervakning, dÃĪr flera relevanta gaser i dagslÃĪget inte kan mÃĪtas med kostnadseffektiva men mycket kÃĪnsliga och snabba gassensorer.