Functionalized epitaxial graphene as versatile platform for air quality sensors

ยท Linkรถping Studies in Science and Technology. Dissertations เดชเตเดธเตโ€Œเดคเด•เด‚, 1 ยท Linkรถping University Electronic Press
เด‡-เดฌเตเด•เตเด•เต
104
เดชเต‡เดœเตเด•เตพ
เดฑเต‡เดฑเตเดฑเดฟเด‚เด—เตเด•เดณเตเด‚ เดฑเดฟเดตเตเดฏเต‚เด•เดณเตเด‚ เดชเดฐเดฟเดถเต‹เดงเดฟเดšเตเดšเตเดฑเดชเตเดชเดฟเดšเตเดšเดคเดฒเตเดฒ ย เด•เต‚เดŸเตเดคเดฒเดฑเดฟเดฏเตเด•

เดˆ เด‡-เดฌเตเด•เตเด•เดฟเดจเต†เด•เตเด•เตเดฑเดฟเดšเตเดšเต

The work presented in this thesis focuses on epitaxial graphene on SiC as a platform for air quality sensors. Several approaches have been tested and evaluated to increase the sensitivity, selectivity, speed of response and stability of the sensors. The graphene surfaces have been functionalized, for example, with different metal oxide nanoparticles and nanolayers using hollow-cathode sputtering and pulsed laser deposition. The modified surfaces were investigated towards topography, integrity and chemical composition with characterization methods such as atomic force microscopy and Raman spectroscopy. Interaction energies between several analytes and nanoparticle-graphene-combinations were calculated by density functional theory to find the optimal material for specific target gases, and to verify the usefulness of this approach. The impact of environmental influences such as operating temperature, relative humidity and UV irradiation on sensing properties was investigated as well. To further enhance sensor performances, the first-order time-derivative of the sensorโ€™s resistance was introduced to speed up sensor response and a temperature cycled operation mode was investigated towards selectivity.

Applying these methods in laboratory conditions, sensors with a quantitative readout of single ppb benzene and formaldehyde were developed. These results show promise to fill the existing gap of low-cost but highly sensitive and fast gas sensors for air quality monitoring.

Der Fokus dieser Thesis liegt auf der Erforschung von epitaxialem Graphen auf SiC als Plattform fรผr Luftgรผtesensoren. Diverse Ansรคtze wurden untersucht, um die Sensitivitรคt, Selektivitรคt, Reaktionsgeschwindigkeit und Stabilitรคt der Sensoren zu verbessern. Die Graphenoberflรคche wurde unter anderem mit Metalloxid-Nanopartikeln oder nanometerdรผnnen Schichten funktionalisiert. Die funktionalisierten Sensorschichten wurden hinsichtlich ihrer Oberflรคchenbeschaffenheit, Unversehrtheit und chemischen Zusammensetzung mittels Rasterkraftmikroskopie und Raman Spektroskopie untersucht. Die Reaktionsenergien zwischen verschiedenen Analyten und Nanopartikel-Graphen-Kombinationen wurden mit Dichtefunktionaltheorie berechnet, um das optimale Material fรผr spezifische Gase zu finden und um die Brauchbarkeit dieser Funktionalisierungsmethode zu verifizieren. Der Einfluss von รคuรŸeren Parametern wie Sensortemperatur, Luftfeuchte und UV-Einstrahlung auf die Sensoreigenschaften wurde ebenfalls untersucht. Um die Sensorleistung zu verbessern, wurde die erste zeitliche Ableitung des Sensorwiderstands als zusรคtzliches Signal eingefรผhrt und ein temperaturzyklischer Betriebsmodus hinsichtlich seiner Eignung erforscht.

Durch die Anwendung dieser Methoden ist es mรถglich, einzelne ppbs Benzol und Formaldehyd unter Laborbedingungen zu detektieren. Diese Ergebnisse sind vielversprechend, um die bestehende Lรผcke der gรผnstigen, aber sehr sensitiven Sensoren fรผr Luftqualitรคtsรผberwachung zu schlieรŸen.

Arbetet som presenteras i denna avhandling fokuserar pรฅ epitaxiell grafen pรฅ SiC som en plattform fรถr luftkvalitetssensorer. Flera tillvรคgagรฅngssรคtt har testats och utvรคrderats fรถr att รถka kรคnsligheten, selektiviteten, responstiden, och stabiliteten hos sensorerna. Grafenytorna har modifierats till exempel med olika metalloxid-nanopartiklar och nanolager med anvรคndning av hรฅlkatodsputtring och PLD. De modifierade ytorna undersรถktes mot topografi, strukturell integritet och kemisk sammansรคttning med karakteriseringsmetoder som atomkraftsmikroskopi och Ramanspektroskopi. Interaktionsenergier mellan flera analyter och nanopartiklar-grafen- materialkombinationer berรคknades med tรคthetsfunktionalteori fรถr att hitta de optimala materialkombinationerna fรถr specifika mรฅlgaser och fรถr att verifiera anvรคndbarheten av ytmodifieringarna. Effekten av externa faktorer som arbetstemperatur, relativ fuktighet och UV-bestrรฅlning pรฅ avkรคnningsegenskaper undersรถktes ocksรฅ. Fรถr att ytterligare fรถrbรคttra sensorprestanda introducerades fรถrsta ordningens tidsderivat av sensorns resistans fรถr att snabbare utvรคrdera sensorns respons, och ett temperaturcyklat driftlรคge i kombination med multivariat dataanalys undersรถktes mot selektivitet.

Genom att anvรคnda dessa metoder under laboratoriefรถrhรฅllanden utvecklades sensorer med en kvantitativ avlรคsning av enstaka ppb bensen och formaldehyd. Dessa resultat visar pรฅ en mรถjlig lรถsning fรถr att fylla det hรฅlrum som finns i dagens sensorteknologier fรถr luftkvalitetsรถvervakning, dรคr flera relevanta gaser i dagslรคget inte kan mรคtas med kostnadseffektiva men mycket kรคnsliga och snabba gassensorer.

เดˆ เด‡-เดฌเตเด•เตเด•เต เดฑเต‡เดฑเตเดฑเต เดšเต†เดฏเตเดฏเตเด•

เดจเดฟเด™เตเด™เดณเตเดŸเต† เด…เดญเดฟเดชเตเดฐเดพเดฏเด‚ เดžเด™เตเด™เดณเต† เด…เดฑเดฟเดฏเดฟเด•เตเด•เตเด•.

เดตเดพเดฏเดจเดพ เดตเดฟเดตเดฐเด™เตเด™เตพ

เดธเตโ€ŒเดฎเดพเตผเดŸเตเดŸเตเดซเต‹เดฃเตเด•เดณเตเด‚ เดŸเดพเดฌเตโ€Œเดฒเต†เดฑเตเดฑเตเด•เดณเตเด‚
Android, iPad/iPhone เดŽเดจเตเดจเดฟเดตเดฏเตเด•เตเด•เดพเดฏเดฟ Google Play เดฌเตเด•เตโ€Œเดธเต เด†เดชเตเดชเต เด‡เตปเดธเตโ€Œเดฑเตเดฑเดพเตพ เดšเต†เดฏเตเดฏเตเด•. เด‡เดคเต เดจเดฟเด™เตเด™เดณเตเดŸเต† เด…เด•เตเด•เต—เดฃเตเดŸเตเดฎเดพเดฏเดฟ เดธเตเดตเดฏเดฎเต‡เดต เดธเดฎเดจเตเดตเดฏเดฟเดชเตเดชเดฟเด•เตเด•เดชเตเดชเต†เดŸเตเด•เดฏเตเด‚, เดŽเดตเดฟเดŸเต† เด†เดฏเดฟเดฐเตเดจเตเดจเดพเดฒเตเด‚ เด“เตบเดฒเตˆเดจเดฟเตฝ เด…เดฒเตเดฒเต†เด™เตเด•เดฟเตฝ เด“เดซเตโ€Œเดฒเตˆเดจเดฟเตฝ เดตเดพเดฏเดฟเด•เตเด•เดพเตป เดจเดฟเด™เตเด™เดณเต† เด…เดจเตเดตเดฆเดฟเด•เตเด•เตเด•เดฏเตเด‚ เดšเต†เดฏเตเดฏเตเดจเตเดจเต.
เดฒเดพเดชเตเดŸเต‹เดชเตเดชเตเด•เดณเตเด‚ เด•เดฎเตเดชเตเดฏเต‚เดŸเตเดŸเดฑเตเด•เดณเตเด‚
Google Play-เดฏเดฟเตฝ เดจเดฟเดจเตเดจเต เดตเดพเด™เตเด™เดฟเดฏเดฟเดŸเตเดŸเตเดณเตเดณ เด“เดกเดฟเดฏเต‹ เดฌเตเด•เตเด•เตเด•เตพ เด•เดฎเตเดชเตเดฏเต‚เดŸเตเดŸเดฑเดฟเดจเตโ€เดฑเต† เดตเต†เดฌเต เดฌเตเดฐเต—เดธเตผ เด‰เดชเดฏเต‹เด—เดฟเดšเตเดšเตเด•เตŠเดฃเตเดŸเต เดตเดพเดฏเดฟเด•เตเด•เดพเดตเตเดจเตเดจเดคเดพเดฃเต.
เด‡-เดฑเต€เดกเดฑเตเด•เดณเตเด‚ เดฎเดฑเตเดฑเต เด‰เดชเด•เดฐเดฃเด™เตเด™เดณเตเด‚
Kobo เด‡-เดฑเต€เดกเดฑเตเด•เตพ เดชเต‹เดฒเตเดณเตเดณ เด‡-เด‡เด™เตเด•เต เด‰เดชเด•เดฐเดฃเด™เตเด™เดณเดฟเตฝ เดตเดพเดฏเดฟเด•เตเด•เดพเตป เด’เดฐเต เดซเดฏเตฝ เดกเต—เตบเดฒเต‹เดกเต เดšเต†เดฏเตเดคเต เด…เดคเต เดจเดฟเด™เตเด™เดณเตเดŸเต† เด‰เดชเด•เดฐเดฃเดคเตเดคเดฟเดฒเต‡เด•เตเด•เต เด•เตˆเดฎเดพเดฑเต‡เดฃเตเดŸเดคเตเดฃเตเดŸเต. เดชเดฟเดจเตเดคเตเดฃเดฏเตเดณเตเดณ เด‡-เดฑเต€เดกเดฑเตเด•เดณเดฟเดฒเต‡เด•เตเด•เต เดซเดฏเดฒเตเด•เตพ เด•เตˆเดฎเดพเดฑเดพเตป, เดธเดนเดพเดฏ เด•เต‡เดจเตเดฆเตเดฐเดคเตเดคเดฟเดฒเตเดณเตเดณ เดตเดฟเดถเดฆเดฎเดพเดฏ เดจเดฟเตผเดฆเตเดฆเต‡เดถเด™เตเด™เตพ เดซเต‹เดณเต‹ เดšเต†เดฏเตเดฏเตเด•.

เดธเต€เดฐเต€เดธเต เดคเตเดŸเดฐเตเด•

เดธเดฎเดพเดจเดฎเดพเดฏ เด‡-เดฌเตเด•เตเด•เตเด•เตพ