Applying these methods in laboratory conditions, sensors with a quantitative readout of single ppb benzene and formaldehyde were developed. These results show promise to fill the existing gap of low-cost but highly sensitive and fast gas sensors for air quality monitoring.
Der Fokus dieser Thesis liegt auf der Erforschung von epitaxialem Graphen auf SiC als Plattform fÃŧr LuftgÃŧtesensoren. Diverse Ansätze wurden untersucht, um die Sensitivität, Selektivität, Reaktionsgeschwindigkeit und Stabilität der Sensoren zu verbessern. Die Graphenoberfläche wurde unter anderem mit Metalloxid-Nanopartikeln oder nanometerdÃŧnnen Schichten funktionalisiert. Die funktionalisierten Sensorschichten wurden hinsichtlich ihrer Oberflächenbeschaffenheit, Unversehrtheit und chemischen Zusammensetzung mittels Rasterkraftmikroskopie und Raman Spektroskopie untersucht. Die Reaktionsenergien zwischen verschiedenen Analyten und Nanopartikel-Graphen-Kombinationen wurden mit Dichtefunktionaltheorie berechnet, um das optimale Material fÃŧr spezifische Gase zu finden und um die Brauchbarkeit dieser Funktionalisierungsmethode zu verifizieren. Der Einfluss von äuÃeren Parametern wie Sensortemperatur, Luftfeuchte und UV-Einstrahlung auf die Sensoreigenschaften wurde ebenfalls untersucht. Um die Sensorleistung zu verbessern, wurde die erste zeitliche Ableitung des Sensorwiderstands als zusätzliches Signal eingefÃŧhrt und ein temperaturzyklischer Betriebsmodus hinsichtlich seiner Eignung erforscht.
Durch die Anwendung dieser Methoden ist es mÃļglich, einzelne ppbs Benzol und Formaldehyd unter Laborbedingungen zu detektieren. Diese Ergebnisse sind vielversprechend, um die bestehende LÃŧcke der gÃŧnstigen, aber sehr sensitiven Sensoren fÃŧr LuftqualitätsÃŧberwachung zu schlieÃen.
Arbetet som presenteras i denna avhandling fokuserar pÃĨ epitaxiell grafen pÃĨ SiC som en plattform fÃļr luftkvalitetssensorer. Flera tillvägagÃĨngssätt har testats och utvärderats fÃļr att Ãļka känsligheten, selektiviteten, responstiden, och stabiliteten hos sensorerna. Grafenytorna har modifierats till exempel med olika metalloxid-nanopartiklar och nanolager med användning av hÃĨlkatodsputtring och PLD. De modifierade ytorna undersÃļktes mot topografi, strukturell integritet och kemisk sammansättning med karakteriseringsmetoder som atomkraftsmikroskopi och Ramanspektroskopi. Interaktionsenergier mellan flera analyter och nanopartiklar-grafen- materialkombinationer beräknades med täthetsfunktionalteori fÃļr att hitta de optimala materialkombinationerna fÃļr specifika mÃĨlgaser och fÃļr att verifiera användbarheten av ytmodifieringarna. Effekten av externa faktorer som arbetstemperatur, relativ fuktighet och UV-bestrÃĨlning pÃĨ avkänningsegenskaper undersÃļktes ocksÃĨ. FÃļr att ytterligare fÃļrbättra sensorprestanda introducerades fÃļrsta ordningens tidsderivat av sensorns resistans fÃļr att snabbare utvärdera sensorns respons, och ett temperaturcyklat driftläge i kombination med multivariat dataanalys undersÃļktes mot selektivitet.
Genom att använda dessa metoder under laboratoriefÃļrhÃĨllanden utvecklades sensorer med en kvantitativ avläsning av enstaka ppb bensen och formaldehyd. Dessa resultat visar pÃĨ en mÃļjlig lÃļsning fÃļr att fylla det hÃĨlrum som finns i dagens sensorteknologier fÃļr luftkvalitetsÃļvervakning, där flera relevanta gaser i dagsläget inte kan mätas med kostnadseffektiva men mycket känsliga och snabba gassensorer.