Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
M.R. Oliver
Μαρ 2013 · Springer Series in Materials Science Βιβλίο 69 · Springer Science & Business Media
ebook
428
Σελίδες
reportΟι αξιολογήσεις και οι κριτικές δεν επαληθεύονται Μάθετε περισσότερα
Σχετικά με το ebook
Chemical Mechanical Planarization (CMP) has emerged in the last two decades and grown rapidly as a basic technology widely used in semiconduc tor device fabrication. As a semiconductor processing step, it was developed at IBM in the mid 1980s. From this beginning the technology has been widely adopted throughout the semiconductor industry. As basic CMP technology has been understood and accepted throughout the semiconductor industry, its uses in different parts of the semiconductor process have multiplied. This includes special steps for some special process ing flows, such as for DRAM technology. In addition, the availability of CMP technology has enabled the implementation of new technologies, with the best example being copper interconnect technology. Copper could not be practi cally implemented into semiconductor process flows until the advent of CMP. Unfortunately, the rapid acceptance and implementation of CMP technol ogy in wafer fabrication has occurred without a corresponding rate of advance in the underlying science. Progress is being made in understanding the un derlying CMP mechanisms, but, in general, it is slow and uneven. The most noteworthy exception to this trend is the science of metal CMP reactions, where the scientific understanding is actually driving much of the advance of the technology. There has been no corresponding progress in other CMP areas however.
Αξιολογήστε αυτό το ebook
Πείτε μας τη γνώμη σας.
Πληροφορίες ανάγνωσης
Smartphone και tablet
Εγκαταστήστε την εφαρμογή Βιβλία Google Play για Android και iPad/iPhone. Συγχρονίζεται αυτόματα με τον λογαριασμό σας και σας επιτρέπει να διαβάζετε στο διαδίκτυο ή εκτός σύνδεσης, όπου κι αν βρίσκεστε.
Φορητοί και επιτραπέζιοι υπολογιστές
Μπορείτε να ακούσετε ηχητικά βιβλία τα οποία αγοράσατε στο Google Play, χρησιμοποιώντας το πρόγραμμα περιήγησης στον ιστό του υπολογιστή σας.
eReader και άλλες συσκευές
Για να διαβάσετε περιεχόμενο σε συσκευές e-ink, όπως είναι οι συσκευές Kobo eReader, θα χρειαστεί να κατεβάσετε ένα αρχείο και να το μεταφέρετε στη συσκευή σας. Ακολουθήστε τις αναλυτικές οδηγίες του Κέντρου βοήθειας για να μεταφέρετε αρχεία σε υποστηριζόμενα eReader.
